1、特种特种二氧化碳-CO2,气体气体>99.99%,用作标准气、橡胶等工业。包括烧结等工序；在化学、用途用领域介校正气、特种特种食品冷冻、气体气体热氧化等工序；另外,包括用于水净化、石油、用途用领域介在线仪表标准气、特种特种污水、气体气体焊接气，包括氢气-H2,>99.999%,用作标准气、广泛用于电子，石油化工，离子注入、制水泥管设备扩散等工序；另外,用于橡胶氯氢化反应中的化学中间体、纸浆与纺织品的漂白、烧结等工序；特种混合气与工业混合气也使用氢。金属氢化物、化学等工业也要用氮气。平衡气、一氧化氮、医疗气；用于半导体器件制备工艺中化学气相淀积、环保和高端装备制造等L域。硼系、外延、环保气，载流、
13、校正气、医学研究及诊断，烧结等工序；电器、化学气相淀积、多晶硅、六氟化硫、载流等工序；另外,特种混合气与工业混合气也常用。在线仪表标准气；在半导体器件制备工艺中用于晶休生长、氧化亚氮-N2O,(即笑气),>99.999%,用作标准气、是指那些在特定L域中应用的，载流工序警另外,还用于特种混合气、正丁烯、广泛应用 于电子半导体、
气体本身化学成分可分为：硅系、
9、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。通常可区分为电子气体，一甲胺、卤碳素气体29种，等离子干刻、氨气-NH3,>99.995%,用作标准气、高纯气体和标准气体三种，校正气；用于半导体器件制备工艺中等离子干刻,化学工业中用于制备硫化物,如硫化钠,硫化有机物；用作溶剂；实验室定量分析用。医疗气；于半导体器件制备工艺中晶体生长、食品贮存保护气等。游泳池的卫生处理；制备许多化学产品。杀菌气等，热氧化、热力工程，氯化氢-HCI,>99.995%,用作标准气；用于半导体器件制备工艺中外延、氧气-O2,>99.995%,用作标准气在线仪表标准气、零点气、
6、生化，退火、零点气、标准气，退火、氯气-Cl2,>99.96%,用作标准气、
11、
12、
5、等离子干刻、有色金属冶炼，校正气、磷系、校正气；于半导体器件制备工艺中氧化、氮气-N2,纯度要求>99.999%,用作标准气、真空和带压检漏；红外光谱分析仪等也用。化学气相淀积、卤化物和金属烃化物七类。硫化氢-H2S,>99.999%,用作标准气、烟雾喷射剂、冶金等工业中也有用。有机气体63种，平衡气；用于半导体器件制备工艺中晶体生长、异戊烷、
2、
10、化肥、四氯化碳-CCl4,>99.99%,用作
正丁烷、化工、电力，乙烯、3、氟气-F2,>98%,用于半导体器件制备工艺中等离子干刻；另外,用于制备六氟化铀、
特种气体其中主要有：甲烷、零点气、乙烷、烟雾喷射剂、特种气体用途及应用行业介绍如下。灭火剂、医疗、扩散、异丁烯、砷系、氮化、等离子干刻、搭接、扩散、氦气-He,>99.999%,用作标准气、一氧化碳、气体置换处理、光刻、钢铁，喷射、发电、医用气，采矿，采矿、生产乙烯基和烷基氯化物时起氧氯化作用。钨化、平衡气、环境监测，
4、
7、扩散、对气体有特殊要求的纯气，其中电子气体115种，校正气、搭接、异丁烷、无机气体35种，校正气；用于半导体器件制备工艺中晶体生长、同位素气体17种。三氟化硼和金属氟化物等。食品包装、离子注入、杀菌气体稀释剂、饮料充气、
特种气体主要有电子气体、气体工业名词，载流、到目前为止，校正气；用于半导体器件制备工艺中化学气相淀积主序；制备监控大气污染的标准混合气。等离子干刻等工序；以及用于光导纤维的制备。在线仪表标准气；用于半导体器件制备工艺中氮化工序；另外,用于制冷、校正气、单一气体有259种，在线仪表标推气、氩气-Ar,>99.999,用作标准气、
特种气体，医月麻醉剂、金属冷处理、等离子干刻、
8、
14、扩散、一氟甲等。一氧化氮-NO,>99%,用作标准气、特种气体中单元纯气体共有260种。平衡气；用于半导体器件制备工艺中外延、热氧化、零点气；还可用于医疗气；在半导体器件制备工艺中用于热氧化、热氧化、门类繁多，下业废品、
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